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半導(dǎo)體溶劑的介電常數(shù)測試方案

更新時間:2025-08-09      點(diǎn)擊次數(shù):311

       電子級環(huán)丁砜是一種高純度環(huán)丁砜(Sulfolane,化學(xué)式C?H?O?S),專為電子行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)需求設(shè)計,主要用于半導(dǎo)體、液晶顯示(LCD)和光伏等領(lǐng)域的精密制造過程。為了評估環(huán)丁砜在特定應(yīng)用中的溶劑性能,尤其是涉及分子極化能力的工業(yè)場景,需要對其測定介電常數(shù)。

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一、測試方法

1、當(dāng)測試頻率小于1GHz的時候(20Hz~1GHz),平行板法不失為一種簡單,方便,性價比高的測試方案。平行板法,在ASTM標(biāo)準(zhǔn)D150中又被叫做三端法,需要將片狀被測材料夾在兩個電極中或者將液體材料注入到平行板容器中從而形成一個電容器,使用阻抗分析儀測得電容的大小進(jìn)而計算出材料的介電常數(shù)以及損耗等參數(shù)。


2、當(dāng)測試頻率為 200MHz~50GHz(搭配網(wǎng)絡(luò)分析儀);10MHz-3GHz(搭配阻抗儀)時推薦同軸探頭法。同軸探頭法可以測試表面光滑且厚度較高的片狀固體材料,液體材料,粉末材料等。該測試方法利用開路式的同軸探頭,測試時將探頭浸入到液體或者接觸光滑固體平面,高頻信號將入射在探頭與被測材料的接觸面,在這一界面上,高頻信號的反射特性S11 將會因?yàn)椴牧系慕殡姵?shù)而發(fā)生變化,這時可以通過網(wǎng)絡(luò)分析儀測得S11,再計算出被測材料的介電常數(shù)與損耗角正切等參數(shù)。


3、當(dāng)測試頻率為1.1G~110GHz的時候,推薦諧振腔法。不同的諧振腔測試頻率不同。常規(guī)款可以覆蓋1.1G~80GHz之間的標(biāo)志性頻點(diǎn)(一個諧振腔對應(yīng)一個頻點(diǎn));多頻點(diǎn)諧振腔可以覆蓋10G~110GHz頻率范圍。這種測試方法利用諧振腔在加入被測材料前后的諧振頻率變化以及品質(zhì)因數(shù)的變化來得到材料的介電常數(shù)等參數(shù)。大部分的諧振腔測試都是遵循美國材料測試協(xié)會的標(biāo)準(zhǔn)ASTM D2520 腔體微擾法進(jìn)行測量的。腔體微擾法在測量過程中,首先測量空腔的中心頻率以及品質(zhì)因數(shù),然后插入樣品后再次測量加載樣品后的中心頻率以及有載品質(zhì)因數(shù)。再通過如下公式,計算出介電常數(shù)和損耗。其中為空腔體積,為樣品體積。


4、當(dāng)測試頻率為 5GHz~330GHz 的時候,推薦自由空間法。自由空間法利用天線將微波能量聚集或者穿過被測材料,這種測試方法將被測材料置于天線之間,通過測量傳輸S21或者反射S11的高頻信號得到材料的介電常數(shù)和磁導(dǎo)率。自由空間法是一種非接觸測量方法,因此也非常適合需要在高溫環(huán)境下進(jìn)行的材料測量。通??梢詫⒋郎y材料放置在一個帶有“窗口"的隔熱材料箱中,被測材料在箱中可以被加熱,而隔熱材料對于微波信號來說是“透明的"。這樣就可以得到不同溫度下的材料特性。


二、測試步驟

       平行板電容法/同軸諧振腔法

       校準(zhǔn)→除氣泡→測空氣電容→注液→測液體電容→計算介電常數(shù)。低頻優(yōu)選平行板法?(操作簡單),?高頻/高損耗選諧振腔法?(精度高)。

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